iMicro納米壓痕儀作為KLA旗下旗艦級力學(xué)測試平臺，融合電磁驅(qū)動技術(shù)、模塊化功能擴(kuò)展與工業(yè)級高通量測試能力，為材料研發(fā)與質(zhì)量控制提供從納米到微米尺度的全維度力學(xué)表征方案。
核心技術(shù)：重新定義精度與效率邊界
電磁驅(qū)動與超分辨?zhèn)鞲?/span>
采用全電磁力作動器（InForce 1000/50），載荷范圍覆蓋50mN–10N，分辨率達(dá)6nN，位移噪音低至0.04nm，實(shí)現(xiàn)從超軟凝膠（1kPa）到硬質(zhì)陶瓷（>20GPa）的全材料譜系精準(zhǔn)測試。
三片式電容位移傳感器保障全量程線性響應(yīng)，避免壓電驅(qū)動固有的遲滯效應(yīng)，結(jié)合熱漂移補(bǔ)償技術(shù)（<0.05nm/s），確保高溫實(shí)驗(yàn)與長時間測試的穩(wěn)定性。
高速動態(tài)捕捉能力
集成InQuest控制器，以100kHz數(shù)據(jù)采集率與20μs超低時間常數(shù)實(shí)時捕獲材料瞬態(tài)行為（如金屬蠕變、聚合物相變），為高應(yīng)變率研究提供工業(yè)界最快響應(yīng)速度。
智能校準(zhǔn)與定位系統(tǒng)
TiP-Calibration?壓頭自動校準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)嵌于軟件，5分鐘內(nèi)完成尖端形貌標(biāo)定，精度誤差<2%。
高精度光學(xué)編碼器平臺（定位精度1μm）與數(shù)字變焦顯微鏡聯(lián)動，實(shí)現(xiàn)微米級結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)定位測試。
模塊化功能：一機(jī)適配全場景需求
iMicro通過9大可選模塊，覆蓋從基礎(chǔ)壓痕到前沿力學(xué)成像的完整工作流：
| 功能模塊 | 核心價值 | 性能指標(biāo) |
|---|---|---|
| 連續(xù)剛度測量(CSM) | 動態(tài)頻率掃描（0.1–1000Hz）表征粘彈性材料儲能/損耗模量，替代傳統(tǒng)DMA設(shè)備 | 支持恒應(yīng)變率測試、薄膜基底修正 |
| NanoBlitz 3D/4D | 高速力學(xué)成像：3D圖譜（100,000點(diǎn)/小時）& 4D斷層掃描（10,000點(diǎn)/陣列） | 單點(diǎn)測試時間<1秒，統(tǒng)計直方圖分析多相材料 |
| 300℃高溫腔室 | 惰性氣體保護(hù)下原位研究合金相變、固態(tài)電解質(zhì)熱機(jī)械失效 | 兼容CSM與劃痕測試 |
| Gemini雙軸作動器 | 同步測量法向/橫向力，實(shí)現(xiàn)摩擦系數(shù)、泊松比、剪切模量雙軸力學(xué)分析 | 支持動態(tài)CSM雙向振蕩 |
| True Test I-V | 同步采集力學(xué)-電學(xué)數(shù)據(jù)（如柔性電極壓阻特性） | 電流分辨率pA級 |
特色創(chuàng)新功能：
AccuFilm?薄膜技術(shù)：基于Hay-Crawford模型修正基底效應(yīng)，精準(zhǔn)測量<20nm超薄膜的真實(shí)模量（軟/硬基底通用）。
ProbeDMA?聚合物套件：圓底平頭壓頭+頻率掃描，納米級表征聚合物薄膜粘彈性，填補(bǔ)傳統(tǒng)DMA微區(qū)測試空白。
生物材料套件：平壓頭+低力模塊，精準(zhǔn)測量1kPa級軟組織復(fù)模量，推動植入器械研發(fā)。
???? 三、行業(yè)應(yīng)用全景：從實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)新到工業(yè)質(zhì)檢
半導(dǎo)體制造：
測量<100nm低k介質(zhì)膜硬度、焊點(diǎn)蠕變率，優(yōu)化芯片封裝可靠性。
劃痕測試（載荷≥10N）評估CMP工藝中薄膜附著力，減少晶圓破片率。
新能源材料：
手套箱兼容設(shè)計下測試鋰金屬負(fù)極蠕變、固態(tài)電解質(zhì)斷裂韌性，加速固態(tài)電池開發(fā)。
航空航天涂層：
ISO 14577標(biāo)準(zhǔn)化輸出維氏硬度、歸一化功，定量評估渦輪葉片涂層抗剝離性能。
生物醫(yī)藥：
微球壓碎測試（顆粒壓縮）優(yōu)化藥物緩釋載體力學(xué)設(shè)計，高頻DMA定位組織工程支架模量梯度。
????? 四、全周期服務(wù)生態(tài)：賦能研發(fā)到量產(chǎn)
智能軟件生態(tài)：
RunTest：拖拽式實(shí)驗(yàn)設(shè)計，支持自定義腳本開發(fā)復(fù)雜測試流程。
ReviewData：實(shí)時分析CSM頻率譜、NanoBlitz統(tǒng)計分布。
InFocus：一鍵生成ISO/ASTM合規(guī)報告，導(dǎo)出3D力學(xué)云圖。
InView?平臺集成三大模塊：
全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：
中國本土化支持：免費(fèi)首次培訓(xùn) + 24小時技術(shù)響應(yīng) + 120天核心備件儲備。
iMicro不僅是納米力學(xué)測試儀，更是跨尺度材料行為解碼中樞。其模塊化架構(gòu)允許用戶根據(jù)需求升級功能，從學(xué)術(shù)實(shí)驗(yàn)室延伸至半導(dǎo)體Fab廠——無論是解析鈣鈦礦電池界面韌性，還是優(yōu)化航空發(fā)動機(jī)涂層工藝，iMicro以電磁驅(qū)動精度與智能軟件生態(tài)，為全球材料創(chuàng)新者提供無可替代的可靠性支撐。