Nanosurf AG是重型樣品和大型樣品的客戶定制原子力顯微鏡系統(tǒng)的專業(yè)解決方案提供者。
Alphacen 300 原子力顯微鏡系統(tǒng)是一種獨(dú)特的 AFM 解決方案，可以輕松處理大型和重型樣品。它具有Flex-Mount掃描頭，采用針尖掃描的設(shè)計(jì)方式，無(wú)論樣品重量如何，都能實(shí)現(xiàn)高性能成像。配置的CX 控制器是 Nanosurf 最先進(jìn)的 AFM 控制器，可快速精確地控制掃描過(guò)程，穩(wěn)定成像。專用的隔音罩可減少外部噪音和振動(dòng)的影響。同時(shí)，該系統(tǒng)還可以通過(guò)添加額外移動(dòng)軸或旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行更復(fù)雜的定制，滿足您的特定樣品測(cè)試需求。
研究級(jí)針尖掃描設(shè)計(jì)
Alphacen 300 采用 Nanosurf FlexAFM 成熟的掃描技術(shù)，可提供高質(zhì)量的成像和可靠的性能。該掃描頭基于柔性平板掃描技術(shù)設(shè)計(jì)，確保平面和線性掃描、高分辨率和穩(wěn)定運(yùn)行。
Alphacen 300 成像模式
此概述顯示了儀器可以使用的模式，某些模式可能需要其他組件或軟件選項(xiàng)。如需詳細(xì)信息，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
標(biāo)準(zhǔn)成像模式
靜態(tài)力模式
橫向力模式
動(dòng)態(tài)力模式 (輕敲模式)
相位成像模式
熱成像模式
掃描熱顯微鏡 (SThM)
磁性能
磁場(chǎng)力顯微鏡
電性能
導(dǎo)電探針原子力顯微鏡 (C-AFM)
壓電力顯微鏡 (PFM)
靜電力顯微鏡 (EFM)
開(kāi)爾文探針力顯微鏡 (KPFM)
掃描擴(kuò)展電阻顯微鏡 (SSRM)
納米機(jī)械性能
力與距離曲線
力調(diào)制模式
硬度和模量
附著力
延展性
力曲線成像
其它測(cè)量模式
納米刻蝕和納米操作
電化學(xué)原子力顯微鏡(EC-AFM)
Alphacen 300參數(shù)與尺寸
系統(tǒng)參數(shù)
| 測(cè)量頭 | |
|---|---|
| 測(cè)量頭類型 | 針尖掃描 |
| 最大掃描范圍 (XY) | 100 微米(1) |
| 最大Z向范圍 | 10 微米(1) |
| XY方向線性度 | < 0.1% |
| 最大掃描范圍內(nèi)XY平坦度 | 典型值 5 nm |
| Z-傳感器噪聲水平 (RMS) | 典型值 150 pm / 最大值 200 pm |
| Z-測(cè)量噪聲水平 (RMS, 空氣中的靜態(tài)模式) | 典型值 100 pm / 最大值 200 pm |
| 系統(tǒng)噪聲水平 (RMS, 空氣中的動(dòng)態(tài)模式) | 典型值 25 pm / 最大值 35 pm |
| 激光光源 | 850 nm 低干涉型SLD |
| AC探測(cè)器噪聲 | < 晚上 10 點(diǎn) RMS（0.1 Hz 至 1 kHz） |
| DC探測(cè)器器噪聲 | < 60 fm 赫茲-1/2 100 kHz 以上 |
| 探測(cè)器帶寬 | DC 至 4 MHz |
| (1) 制造公差 ± 10% |
| 平臺(tái) | |
|---|---|
| 頂視視場(chǎng) | 5 MP，1.5 毫米 x 1.1 毫米 |
| 側(cè)視視場(chǎng) | 5 MP，3.2 毫米 x 3.2 毫米 |
| 最大樣品尺寸 | 300 mm x 300 mm x 45 mm |
| 最大樣品重量 | 45 公斤 |
| 真空吸附樣品臺(tái) | 4’’ / 6’’ / 8’’ / 12’’ 晶片 |
| 自動(dòng)XY行程范圍 | 300 mm x 300 mm |
| 自動(dòng)逼近范圍 | 50 毫米 |
| 系統(tǒng)尺寸 | 1008 mm x 1887 mm x 1208 mm (在組裝隔音罩之前可穿過(guò)800毫米的門(mén)) |
| 系統(tǒng)重量 | 833 千克 |
| 平臺(tái) XY 分辨率 | < 1 μm |
| 重復(fù)定位精度 | 2 微米 |
| 隔音 | 250 Hz以上~30 dB |
| 隔振 | 主動(dòng)隔振 |
| 控制器 | |
|---|---|
| 高分辨率輸出 (DAC) | 12x 28 bit, 1 MHz/采樣; 其中 4x 用戶 DAC, ±10V/3dB@200kHz |
| 快速輸出 (DAC) | 4x 16 bit, 100 MHz/采樣; 其中 1x 用戶 DAC, ±1V/3dB@10MHz |
| 高分辨率輸入 (ADC) | 10x 20 bit, 1 MHz/采樣; 其中 4x 用戶 ADC, ±10V/3dB@200kHz |
| 快速輸入 (ADC) | 3x 16 bit, 100 MHz/采樣; 其中 1x 用戶 ADC, ±1V/3dB@10MHz |
| 信號(hào)分析儀 | 2 信號(hào)分析器功能塊，可配置為雙通道鎖定 |
| FPGA 模塊和嵌入式處理器 | 帶低延遲 FPGA 信號(hào)處理的片上系統(tǒng)模塊，100MHz， 雙核 ARM 處理器, 2GB RAM, 1.5GHz 時(shí)鐘 |
| 掃描控制 | 28 位 X/Y/Z-DAC，帶有 ±10V/3dB@200kHz |
| 探測(cè)器輸入 | 偏轉(zhuǎn)/橫向 信號(hào)分別為 16 bit/3dB@10MHz 和 28 bit/3dB@200kHz |
| 數(shù)字同步, 峰值保護(hù) | 2-bit 線/幀同步輸出 5 V/TTL電隔離，峰值保護(hù)輸入 |
| 時(shí)鐘同步 | 10MHz/3V 時(shí)鐘輸入來(lái)同步數(shù)據(jù)采集和處理 |
| 計(jì)算機(jī)通訊 | 千兆以太網(wǎng) |
| 探針 | |
|---|---|
| 寬度 | 最小 20 μm |
| 長(zhǎng)度 | 低至 40 μm |
| 反射層 | 建議反光涂層 |
| 液體測(cè)量 | 是, 鍍金 |
| 定位槽 | 默認(rèn)情況下有 也存在無(wú)對(duì)齊槽的特殊懸臂 |
| 共振頻率動(dòng)態(tài)模式Easyscan 2控制器 | 15 kHz 至 350 kHz |
| 共振頻率動(dòng)態(tài)模式 C3000 控制器 | < 4 兆赫 |
| 探針形狀 | 單矩形懸臂和多杠桿懸臂(取決于掃描頭版本和懸臂支架 ) |
| 探針基片厚度 | 300 μm, 500 μm 或 600 μm，具體取決于懸臂支架 |
系統(tǒng)尺寸
