在精密制造與科研檢測(cè)領(lǐng)域，白光干涉儀是不可或缺的核心設(shè)備。它依靠光學(xué)干涉原理，實(shí)現(xiàn)非接觸式的納米級(jí)表面形貌測(cè)量，既能捕捉材料表面的微小起伏，也能精準(zhǔn)測(cè)算薄膜厚度、粗糙度等關(guān)鍵參數(shù)，為產(chǎn)品質(zhì)量把控提供數(shù)據(jù)支撐。
當(dāng)前國(guó)內(nèi)白光干涉儀行業(yè)正穩(wěn)步增長(zhǎng)，2024年市場(chǎng)規(guī)模已達(dá)51億元，同比增長(zhǎng)13.33%。行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)呈現(xiàn)“國(guó)際品牌占高端、國(guó)產(chǎn)品牌加速崛起”的格局，德國(guó)Bruker、美國(guó)ZYGO等國(guó)際廠商憑借成熟技術(shù)占據(jù)高端市場(chǎng)，但產(chǎn)品價(jià)格偏高；國(guó)內(nèi)企業(yè)則通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新和成本優(yōu)化快速突圍，長(zhǎng)三角、珠三角地區(qū)已形成完整供應(yīng)鏈，核心部件國(guó)產(chǎn)化率逐步提升，政策層面也明確要求2025年底前精密測(cè)量?jī)x器自主化率超70%，為國(guó)產(chǎn)設(shè)備發(fā)展注入動(dòng)力。
白光干涉儀的應(yīng)用場(chǎng)景已滲透多個(gè)高精尖領(lǐng)域。在半導(dǎo)體行業(yè)，它用于檢測(cè)硅片表面平整度和微觀缺陷，保障芯片制造精度；在光學(xué)制造領(lǐng)域，可評(píng)估光學(xué)元件面形質(zhì)量，助力高端鏡片、顯示面板生產(chǎn)；此外，在精密機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)、新能源、航空航天等領(lǐng)域也發(fā)揮重要作用，既能滿足實(shí)驗(yàn)室的科研需求，也能適配工業(yè)產(chǎn)線的批量檢測(cè)場(chǎng)景。隨著5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)發(fā)展，集成電路、新能源汽車等產(chǎn)業(yè)對(duì)亞納米級(jí)檢測(cè)需求激增，進(jìn)一步推動(dòng)白光干涉儀向智能化、多功能化方向升級(jí)。
在國(guó)產(chǎn)廠商中，上海納嘉儀器有限公司深耕精密測(cè)量領(lǐng)域多年，其白光干涉儀憑借扎實(shí)的技術(shù)實(shí)力和貼合市場(chǎng)需求的設(shè)計(jì)，成為眾多企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)的優(yōu)選。
納嘉儀器的白光干涉儀在測(cè)量精度與穩(wěn)定性上表現(xiàn)突出。產(chǎn)品垂直分辨率可達(dá)0.1納米以下，均方根重復(fù)性不超過(guò)0.01納米，能精準(zhǔn)捕捉原子尺度的表面起伏，滿足計(jì)量級(jí)應(yīng)用需求。依托精密壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z軸掃描機(jī)構(gòu)和閉環(huán)控制系統(tǒng)，設(shè)備可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)步進(jìn)掃描，有效消除機(jī)械滯后誤差，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性，即便在工業(yè)車間的振動(dòng)環(huán)境中，也能通過(guò)氣浮隔振工作臺(tái)和抗干擾結(jié)構(gòu)保持穩(wěn)定運(yùn)行。
非接觸式測(cè)量設(shè)計(jì)與廣泛的材料適配性，讓產(chǎn)品適用場(chǎng)景大幅拓展。設(shè)備采用白光干涉原理，測(cè)量光束僅照射樣品表面，不會(huì)對(duì)硅片、生物材料、軟性薄膜等脆弱或高潔凈度樣品造成劃傷、應(yīng)力變形，完美適配不同材質(zhì)的檢測(cè)需求。無(wú)論是金屬、陶瓷、玻璃等常規(guī)材料，還是低反射率、高粗糙度的特殊工件，都能精準(zhǔn)測(cè)量，且垂直掃描范圍可覆蓋從150微米到10毫米以上，既能檢測(cè)納米級(jí)粗糙度，也能測(cè)算毫米級(jí)臺(tái)階高度，兼顧微觀與宏觀測(cè)量需求。
高效測(cè)量與智能化操作能力，契合工業(yè)產(chǎn)線與科研高效檢測(cè)的需求。單次3D形貌數(shù)據(jù)采集可在數(shù)秒至20秒內(nèi)完成，部分型號(hào)掃描速度達(dá)100微米/秒，大幅提升檢測(cè)通量。搭配高精度電動(dòng)XY樣品臺(tái)，支持自動(dòng)對(duì)焦、物鏡切換與視場(chǎng)無(wú)縫拼接，可實(shí)現(xiàn)最大直徑50毫米以上工件的完整測(cè)量，拼接效率與準(zhǔn)確性顯著優(yōu)化。配套軟件內(nèi)置符合ISO、ASME、GB等國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種2D、3D參數(shù)分析模塊，能一鍵生成粗糙度、平整度、體積等量化數(shù)據(jù)，同時(shí)提供清晰的三維形貌渲染圖與二維輪廓曲線，直觀呈現(xiàn)測(cè)量結(jié)果，開放的二次開發(fā)接口還可適配生產(chǎn)線自動(dòng)化集成需求。
深耕行業(yè)多年，上海納嘉儀器始終以技術(shù)創(chuàng)新貼合市場(chǎng)需求，在核心部件適配、軟件算法優(yōu)化等方面持續(xù)發(fā)力，既保持了與國(guó)際同類產(chǎn)品相當(dāng)?shù)臏y(cè)量精度，又通過(guò)本土化設(shè)計(jì)控制成本，為國(guó)內(nèi)用戶提供高性價(jià)比的精密測(cè)量解決方案，助力半導(dǎo)體、新能源、航空航天等領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化升級(jí)。
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